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摘要：本发明公开了一种弱耦合双端音叉MEMS电场传感器，属于MEMS传感器技术领域，其设有第一谐振器、第二谐振器、弱耦合机械梁、第一质量块、第二质量块、驱动电极、直流偏置电极、扰动电极、调节电极、第一感应电极和第二感应电极；第一谐振器与第二谐振器在同一水平面上沿水平方向错位平行设置并通过弱耦合机械梁连接；驱动电极和第一感应电极分别设置在第一谐振器两侧，扰动电极和第二感应电极分别设置在第二谐振器两侧；直流偏置电极和调节电极分别设置在第二谐振器两侧；第一谐振器的两侧分别设有第一质量块，且第二谐振器的两侧分别设有第二质量块。本发明具有性能强、制作简单，成本低等优点。
主权项：1.一种弱耦合双端音叉MEMS电场传感器，包括通过金线键合实现互联的陶瓷封装管壳和绝缘体上硅谐振器芯片；其特征在于，所述谐振器芯片中设置有第一谐振器、第二谐振器、弱耦合机械梁、第一质量块、第二质量块、驱动电极、直流偏置电极、扰动电极、调节电极、第一感应电极和第二感应电极；其中，所述第一谐振器与所述第二谐振器在同一水平面上沿水平方向错位平行设置，且二者在水平方向上有一定交叠，并在交叠部分通过所述弱耦合机械梁连接；沿竖直方向，所述驱动电极和所述第一感应电极分别设置在第一谐振器的两侧，且所述驱动电极和所述第一感应电极平行排列，所述扰动电极和所述第二感应电极分别设置在第二谐振器的两侧，且所述扰动电极和所述第二感应电极平行排列；沿水平方向，所述直流偏置电极和所述调节电极分别设置在第二谐振器的两侧；沿竖直方向，所述第一谐振器的两侧分别设置有所述第一质量块，且所述第二谐振器的两侧分别设置有所述第二质量块。
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百度查询： 北京科技大学 一种弱耦合双端音叉MEMS电场传感器
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