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摘要：本申请提供了一种压电式传感器，包括衬底组件、质量块和多个压电结构。衬底组件包括衬底件和腔体，腔体开设于衬底件。质量块固定安装于衬底件，且收容于腔体内。多个压电结构间隔安装于衬底件背向质量块的一侧，且对称分布。本申请提供的压电式传感器，采用衬底层替换相关技术中分离设置的悬臂梁，采用衬底层安装质量块，在两个衬底块的配合下，两个衬底块能够共同支撑同一衬底层，能够有效地提高衬底层的承载能力。在提高衬底层的承载能力之后，通过增加质量块的质量，能够提高压电式传感器的信噪比，还能够有效地拓展带宽。在提高质量块的质量之后，采用衬底层能够避免增大悬臂梁的宽度或厚度，能够有效地防止因质量块质量过重导致衬底层断裂。
主权项：1.一种压电式传感器，其特征在于，包括：衬底组件100，所述衬底组件100包括衬底件110和腔体120，所述腔体120开设于所述衬底件110；质量块200，所述质量块200固定安装于所述衬底件110，且收容于所述腔体120内；多个压电结构300，多个所述压电结构300间隔安装于所述衬底件110背向所述质量块200的一侧，且对称分布。
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百度查询： 博思半导体(深圳)有限公司 压电式传感器
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