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摘要：本实用新型公开了一种晶圆自定位夹持运载装置，其包括：固定座、滑座、第一导向杆、第二导向杆、第一运载块和第二运载块，所述滑座可横移地设置在固定座上，所述第一运载块和第二运载块可纵向移动地相对设置在滑座上，所述第一运载块和第二运载块上分别内凹设置有开口指向对方的半圆槽，所述固定座上设置有位于滑座前端的挡板，所述第一导向杆与第二导向杆呈V形夹角水平设置在挡板上，且第一导向杆贯穿第一运载块，第二导向杆贯穿第二运载块。本实用新型所述的晶圆自定位夹持运载装置，方便了晶圆的置入和取出，避免了上下料过程中的撞击和卡滞问题。
主权项：1.一种晶圆自定位夹持运载装置，其特征在于，包括：固定座、滑座、第一导向杆、第二导向杆、第一运载块和第二运载块，所述滑座可横移地设置在固定座上，所述第一运载块和第二运载块可纵向移动地相对设置在滑座上，所述第一运载块和第二运载块上分别内凹设置有开口指向对方的半圆槽，所述固定座上设置有位于滑座前端的挡板，所述第一导向杆与第二导向杆呈V形夹角水平设置在挡板上，且第一导向杆贯穿第一运载块，第二导向杆贯穿第二运载块，所述第一运载块中设置有与第一导向杆对应的第一导向孔，所述第二运载块中设置有与第二导向杆对应的第二导向孔。
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百度查询： 德兴市意发功率半导体有限公司 一种晶圆自定位夹持运载装置
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