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申请/专利权人：陕西北元化工集团股份有限公司
申请日：2024-12-20
公开（公告）日：2025-01-21
公开（公告）号：CN119332340A
专利技术分类：..衬底夹持器或基座[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种晶垫片的升降机构，本发明涉及晶垫片技术领域，包括底座，所述底座的顶部设置有运动机构，所述运动机构的顶部设置有放置盒，所述放置盒的内壁两侧均设置有滑槽。该一种晶垫片的升降机构，通过竖杆能让转动的旋转套筒发生转动，使得旋转套筒的顶端高度大于晶种的高度，方便后续的操作，通过步进电机的使用能让基片台向上运动，能让基片台在环形板中运动，通过环形板对晶种周围进行遮挡，防止晶种掉落，且旋转套筒能随着基片台一起向上运动，且让旋转套筒先与限制板接触在一起，并推动了限制板和环形板的向上运动，使得基片台向上运动时，环形板一起向上运动，能始终对晶种进行保护，防止掉落。
专利权项：1.一种晶垫片的升降机构，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）的顶部设置有运动机构（2），所述运动机构（2）的顶部设置有放置盒（3），所述放置盒（3）的内壁两侧均设置有滑槽（4），所述滑槽（4）的数量为两个，两个所述滑槽（4）关于底座（1）的竖直方向呈中心轴线对称设置；所述运动机构（2）包括步进电机（201），所述步进电机（201）的输出轴设置有减速机（202），所述步进电机（201）的上方设置有基片台（203），所述基片台（203）的底部固定设置有中心杆（204），且中心杆（204）的顶端内部设置有红外测温仪（205），所述放置盒（3）的内部设置有环形板（206），所述环形板（206）分别与基片台（203）以及放置盒（3）相接触，所述基片台（203）的两端顶部均设置有竖杆（207），所述竖杆（207）的外侧设置有旋转套筒（208），所述旋转套筒（208）通过螺纹与竖杆（207）传动连接，所述旋转套筒（208）的上方设置有限制板（209），所述限制板（209）与环形板（206）的内壁固定连接。
百度查询： 陕西北元化工集团股份有限公司 一种晶垫片的升降机构
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