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一种基于流化床用气相沉积石墨烯包覆设备
本发明提供一种基于流化床用气相沉积石墨烯包覆设备,包括出料模组和反应器本体,反应器本体与出料模组之间设有加高段,反应器本体下端与加高段相连接处设有柱塞,其中,出料模组包括气缸杆、出料阀和气缸,气缸杆上下两端分别与柱塞、气缸的伸缩杆一端相连接...
一种预离化空心阴极管内放电在细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置及使用方法
一种预离化空心阴极管内放电在细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置及使用方法。它属于表面处理领域。它解决了空心阴极靶变形失效以及难以在细长管筒件内壁均匀而快速沉积大厚度薄膜的问题。装置中包括预离化电源、预离化离子源和阳极环构成的预离化装置;预...
一种应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层制作工艺
本发明属于热喷涂技术领域,具体涉及一种应用于半导体设备腔体铝钛熔射复合涂层制作工艺,包括以下步骤:(1)使用白刚玉砂材对半导体设备腔体进行喷砂;(2)去除残留砂材,清洗,干燥处理,得到预处理半导体设备腔体;(3)使用超音速火焰在预处理半导体...
TiCN复合涂层及其制备方法
本发明提供TiCN复合涂层及其制备方法,涉及涂层润滑技术领域,该TiCN复合涂层包括三层,底层为Ti涂层,中间层为TiN涂层,表层为TiCN涂层,其中各元素及其原子百分比为N 20~30at.%,Ti 15~30at.%以及C 40~65a...
机械手抓取手爪的耐磨损的纳米涂层
本发明提出一种机械手抓取手爪的耐磨损的纳米涂层,纳米涂层包括打底层和金属涂层,所述打底层涂布于手爪上,所述金属涂层设置于所述打底层外侧。打底层可为镍基粉末,采用金属作为粘结相,如:为镍基氧化铝或镍基铬。金属涂层可为纳米碳化钨本发明叙述的一种...
一种化学气相沉积多层涂层刀具及其制备方法
本发明涉及涂层刀具技术领域,提出一种化学气相沉积多层涂层刀具及其制备方法,化学气相沉积多层涂层刀具,刀具包括基体和依次采用化学气相沉积方法沉积在基体表面的多层涂层,多层涂层包括(Zr,Al)
y
B
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一种刻蚀机台部件保护涂层的制备方法
本申请提供一种刻蚀机台部件保护涂层的制备方法,包括:步骤一,在刻蚀机台部件表面形成第一保护涂层;步骤二,通过原子层沉积工艺在刻蚀机台部件表面形成覆盖第一保护涂层的第二保护涂层,第二保护涂层的厚度和孔隙度远小于第一保护涂层的厚度和孔隙度。使用...
一种生物医用多功能涂层及其制备方法
本申请涉及生物材料领域,具体公开了一种生物医用多功能涂层及其制备方法。该制备方法包括:对喷砂处理后的医用材料进行等离子体处理后,沉积Ti过渡层;随后在所述医用材料的过渡层表面继续进行磁控溅射镀膜,交替沉积Ta层和Ti层,形成‑(Ta‑Ti)...
一种三维交联界面强韧化金刚石膜-基系统制备方法
本发明公开了一种三维交联界面强韧化金刚石膜‑基系统制备方法,包括以下步骤:硬质合金基底超短脉冲激光加工三维微纳结构并进行脱Co;对基底表面三维微纳结构进行超声植晶;金刚石涂层生长,采用化学气相沉积技术(CVD)在硬质合金表面生长1μm左右厚...
一种化学气相沉积CVD反应腔及CVD设备
本发明涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种化学气相沉积CVD设备,包括:处理罐和固定连接在处理罐上端的充气管,所述加热层安装在处理罐内部,所述加热层上端设置有多个喷气组件,多个所述喷气组件与上端的充气管连通,用于导出反应气体;所述反应空间内...
一种鱼池用镀锌板生产用冷却装置
本实用新型公开了一种鱼池用镀锌板生产用冷却装置,涉及镀锌板生产技术领域,包括冷却箱,所述冷却箱右端设置有两个固定板,其中一个所述固定板上端设置有一号电动机,所述一号电动机的输出端设置有双向螺纹杆,所述双向螺纹杆外表面设置有两个移动块,所述移...
一种蒸镀载板及蒸镀装置
本发明实施例提供一种蒸镀载板及蒸镀装置,用于蒸镀技术领域,解决了待蒸镀基板在点亮时出现白点异常的问题。该蒸镀载板用于承载待蒸镀基板,所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板,所述蒸镀载板包括:底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块,一个所述支撑...
用于制备高k介质膜的相互匹配的双腔系统
本申请提供了一种用于制备高k介质膜的相互匹配的双腔系统,包括:第一腔体、第二腔体、内腔总进气管道、内腔总出气管道、外腔总进气管道和外腔总出气管道,其中,第一腔体和第二腔体用于同时分别处理不同的基片。本申请的双腔系统包括具有一致结构的第一腔体...
一种FeCrAlY涂层的制备方法
本发明涉及材料表面处理技术领域,公开了一种FeCrAlY涂层的制备方法。所述FeCrAlY涂层的制备方法,包括以下步骤:S1、在设有FeCrAlY磁控靶、Al弧靶和基底的磁控溅射装置中,对所述基底进行等离子体辉光辅助清洗,得到活化基底;S2...
一种THB抗氧化金属化薄膜及其制作方法
本发明公开了一种THB抗氧化金属化薄膜,包括高分子聚合物基膜层,锌层,抗氧化油膜层,还包括极性官能团层,第一无定形三氧化二铝层,第二无定形三氧化二铝层,所述极性官能团层为高分子聚合物基膜层经过等离子体处理后,产生C‑O/C‑N,C=O/N‑...
一种冰冻调控银合金膜表面颗粒生长的方法
本发明提供一种冰冻调控银合金膜表面颗粒生长的方法,该主要包括如下步骤:先在柔性基体表面磁控溅射一层银合金膜;然后将溅射有银合金膜的柔性基体置于装有水的容器中,使柔性基体没入水中,之后将容器置于冰柜中冰冻处理1‑7天,冰冻完毕后,取出,解冻后...
香槟金色膜层及在汽车内后视镜中的应用与制备方法
本发明涉及表面处理技术领域,具体公开了一种香槟金色膜层及在汽车内后视镜中的应用与制备方法,该膜层包括基材,基材上设有调色层,调色层上设有金属反射层,金属反射层上设有油墨层,油墨层上还设有白色定位线;其中调色层为氧化铟锡层;金属反射层为Cr膜...
一种用于微孔内壁镀膜的方法
本发明公开了一种用于微孔内壁镀膜的方法,涉及微电子封装技术领域,包括以下步骤:第一阶段,工件与离子源相对放置,开启非对称双极性脉冲电源,同时开启离子源和电子枪电源,开始沉积金属层;第二阶段,加大非对称双极性脉冲电源的负脉冲幅值和脉宽,同时增...
一种透平叶片内腔铝涂层的扩散处理方法
本发明涉及透平叶片的表面处理技术领域,尤其涉及一种透平叶片内腔铝涂层的扩散处理方法。透平叶片内腔铝涂层的扩散处理方法包括以下步骤:(a)对透平叶片的内腔表面进行预处理,清除透平叶片表面的杂质与锈迹;(b)在预处理后的透平叶片的内腔表面喷涂铝...
低气压射流等离子体增强化学气相沉淀设备及其生产方法
本发明公开了一种低气压射流等离子体增强化学气相沉淀设备及其生产方法,涉及化学气相沉积领域,包括:依次连接的等离子体发生器、裂解腔体、生长腔体和回收装置,所述等离子体发生器、裂解腔体、生长腔体和回收装置内部形成依次连通的通道;所述生长腔体用于...
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