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微观装置的制造及其处理技术
一种晶圆通孔结构的金属填充方法
本发明公开了一种晶圆通孔结构的金属填充方法,包括如下步骤:在第一晶圆中制备通孔;在第二晶圆的表面依次沉积光刻胶层和导电层;将第一晶圆和第二晶圆紧固在一起,使得所述导电层与所述第一晶圆中通孔的底面抵接;将第一晶圆和第二晶圆放置在电铸液中进行电...
一种仿秦岭箭竹叶疏雪脊肋状微结构
本发明公开了一种仿秦岭箭竹叶表面脊肋状微纳结构,该结构可以起到疏雪,防雪的作用,属于材料制备领域。该仿秦岭箭竹叶脊肋状微结构,包括(a)脊肋状微结构,(b)乳突状微结构。所述脊肋状微结构(a)整体在纵向呈周期性分布,每个周期由纵向的“脊”状...
便于保护水果的运输装置
本实用新型涉及一种便于保护水果的运输装置,包括物流箱,物流箱包括底板,与底板垂直且固定连接的若干侧板,通过若干侧板拼接成闭环结构框住底板外轮廓,底板为中空结构,且底板上开设有连通底板内外两侧的若干进气孔;底板面向侧板的一侧设有与底板垂直的支...
一种硅酮密封胶包装运输设备
本实用新型公开了一种硅酮密封胶包装运输设备,包括运输推车,所述运输推车顶部固定连接有密封箱,所述密封箱一侧设置有密封门,所述密封箱和密封门之间设置有开关机构,所述密封箱内部均固定连接有第二滑轨,所述第二滑轨外侧滑动连接有载物台,所述载物台顶...
一种基于形状记忆合金的芯片自适应散热装置及制备方法
本发明公开了一种基于形状记忆合金的芯片自适应散热装置及制备方法,涉及芯片散热技术领域,解决了现有散热器对芯片随机出现的局部热点散热效果不好的问题。本发明外壳下端设置有基底构成微型箱体结构并在内部设置有蜂窝分液板;蜂窝分液板为双层结构,并设置...
一种可大规模阵列的微机械超声换能器件及其制备方法
本申请公开了一种可大规模阵列的微机械超声换能器件及其制备方法。本发明器件采用衬底高掺杂、低阻值的SOI晶圆,通过刻蚀SOI晶圆的器件硅层和埋氧层形成倾角凹槽,接着在SOI晶圆的上表面淀积绝缘层,再溅射电极层和压电层并将二者光刻图形化,之后通...
MEMS芯片及传感器模组
本发明提供一种MEMS芯片及传感器模组,其中的MEMS芯片包括支撑基座以及设置在所述支撑基座上的振膜和背极板,所述振膜与所述背极板形成电容器结构;其中,在所述背极板远离所述振膜的一侧设置有多孔过滤组件;所述多孔过滤组件用于对进入所述电容器结...
一种展示酒盒
本实用新型公开了一种展示酒盒,包括:第一盒体,设有第一收容凹槽;第二盒体,设有第二收容凹槽,且第二盒体的第二收容凹槽的一侧边的顶端与第一盒体的第一收容凹槽的一侧边的顶端转动连接;第一连接板,其中第一连接板的一侧边转动连接在第一收容凹槽的一侧...
一种海参运输的环保保温箱
本实用新型公开了一种海参运输的环保保温箱,涉及保温箱技术领域,包括箱体,所述箱体的内部固定安装有内胆,所述内胆与箱体之间设置有内腔,所述内腔的内部活动插设有蓄冷板,蓄冷板一共有四块,分别位于内胆的四侧,所述内胆的内部活动放置有多个网格框架,...
一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法
本发明提出一种MEMS电容式触觉压力传感器,包括:衬底;绝缘层,设置在所述衬底上;电极,设置在所述绝缘层上;电介质层,设置在所述绝缘层上并覆盖所述电极;触觉敏感体,设置在所述电介质层上;其中,所述触觉敏感体构成所述MEMS电容式触觉压力传感...
一种胶水贮存的恒温胶水桶
本实用新型公开了一种胶水贮存的恒温胶水桶,涉及胶水桶技术领域,包括胶水桶本体,所述胶水桶本体的一端固定连接有桶盖,所述桶盖的中部通过轴承转动连接有加热桶,所述加热桶远离桶盖的一侧固定连接有扩张管。本实用新型采用上述结构,通过在桶盖上安装轴承...
晶圆级真空封装工艺中吸气剂膜层制备及激活方法
本发明提供一种在晶圆级真空封装衬底片上生长铬/金/铬/钛复合膜层,其中第一层铬层与衬底硅直接接触。晶圆级真空封装通过金硅共晶键合实现,金硅共晶键合反应过程中,位于Cr/Ti吸气剂层底部的Cr/Au共晶反应层与硅共晶反应产生液相合金,并在降温...
一种空气能内部填装用气柱袋
本实用新型涉及一种空气能内部填装用气柱袋,具有可在充气后形成用于填充保护的第一气柱件和第二气柱件;第一气柱件和第二气柱件上均设有多道平行设置的气柱,第一气柱件和第二气柱件上均设有用于给气柱充气的充气口,第一气柱件上开设有至少一道滑动槽;第二...
一种双层编织袋
本实用新型公开了一种双层编织袋,包括外袋体和内袋体,所述外袋体内通过缝合连接有内袋体,所述外袋体内侧开设有中空部,所述中空部内的一侧通过胶合连接有气垫,所述中空部内位于气垫的外侧通过胶合连接有缓冲垫,所述外袋体的一侧设置有充气座,且充气座的...
一种仪器仪表放置柜
本实用新型公开了一种仪器仪表放置柜,包括:第一放置柜,第一放置柜下方固定设置有第二放置柜,第二放置柜下方固定设置有第三放置柜,第一放置柜侧面固定设置有挡板滑槽板,挡板滑槽板上方滑动设置有滑动柜门,第一放置柜内侧设置有挂杆支撑板,挂杆支撑板侧...
一种用于兰花干落料缓冲箱体
本实用新型公开了一种用于兰花干落料缓冲箱体,涉及豆制品缓冲落料设备领域。包括箱壳,所述箱壳的上端敞口设置,且内壁两侧固定开设有竖向安装槽,且每侧面设置有两组竖向安装槽;所述箱壳内安装有缓冲件,所述缓冲件包括上位板,所述上位板的两端设置有凸形...
一种用于魔芋的贮藏保鲜装置
本发明公开了一种用于魔芋的贮藏保鲜装置,涉及魔芋贮藏技术领域,包括箱体,箱体的内部上方活动安装有两个箱门,两个箱门分别贯穿了箱体的左右两侧壁面,箱体的内部活动安装有储藏框,储藏框的底部镶嵌安装有放置板,放置板上开设有大量小孔,箱体的内部设置...
一种T型衬套
本实用新型涉及一种T型衬套,属于气柱缓冲包装技术领域。一种T型衬套,包括包装部和设置在所述包装部下方的衬垫部;所述的包装部和衬垫部由同一气柱膜折弯后热封粘接形成。本实用新型的包装部用于装填碰撞易损物品,衬垫部提供对物品的保护,避免该物品在搬...
换热器盘管缠绕装置
本实用新型公开了换热器盘管缠绕装置,涉及盘管缠绕工具技术领域,包括工作台和机架,工作台上设有导向组件,机架的顶部设有安装座,安装座上设有轴承,轴承内设有缠绕机构,缠绕机构上配有动力机构,动力机构包括驱动电机,安装座上设有减速机,减速机与驱动...
氮封水箱、纯水设备和半导体加工系统
本申请涉及一种氮封水箱、纯水设备和半导体加工系统,氮封水箱包括:水箱本体,内部形成有用于储存纯水的储水空间;氮气管,与储水空间连通,并用于输入氮气;排气管,包括沿自身纵长方向相对的第一端和第二端,第一端与储水空间连通,第二端位于水箱本体外部...
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