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申请/专利权人：河南通用智能装备有限公司
摘要：本实用新型公开的晶圆圆切装置，包括旋转切割部件和贴膜平台，旋转切割部件包括固定在多功能机械手上的旋转切割座，旋转切割座上固定旋转驱动电机，旋转驱动电机的输出轴处连接旋转臂，旋转臂一端设置环切刀组件；贴膜平台上设置与环切刀组件中环切刀对应的环切槽。在进行圆切时，环切刀能够进入到环切槽中，贴膜平台不会对环切刀进行阻碍，通过热切的方式，对BG膜进行切割，能够避免由于刀具的旋转，BG膜出现褶皱。
主权项：1.一种晶圆圆切装置，其特征在于，包括旋转切割部件和贴膜平台，旋转切割部件包括固定在多功能机械手上的旋转切割座，旋转切割座上固定旋转驱动电机，旋转驱动电机的输出轴处连接旋转臂，旋转臂一端设置环切刀组件；贴膜平台上设置与环切刀组件中环切刀对应的环切槽。
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权利要求：
百度查询： 河南通用智能装备有限公司 一种晶圆圆切装置
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