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申请/专利权人：常州大学
摘要：本发明涉及图像处理技术领域，尤其涉及一种基于机器视觉的晶圆圆心检测定位的方法，包括采集晶圆图像，并对图像进行灰度化处理；找到晶圆图像连通区域，并通过阀值去除连通区域中的噪声区域，得到去除噪声后的图像；利用改进通道注意力机制和空间注意力机制模块对去除噪声后的图像进行处理；采用Sobel算子联合Canny算子边缘检测方法对注意力机制下的输出图像进行处理；通过Hough直线检测从边缘检测后的输出中计算出边缘点；采用最小二乘法拟合边缘点获得晶圆圆心位置。本发明解决晶圆图像质量不高影响晶圆圆心定位精度的问题。
主权项：1.一种基于机器视觉的晶圆圆心检测定位的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、采集晶圆图像，并对图像进行灰度化处理；步骤二、找到晶圆图像连通区域，并通过阀值去除连通区域中的噪声区域，得到去除噪声后的图像；步骤三、利用改进通道注意力机制和空间注意力机制模块对去除噪声后的图像进行处理；步骤四、采用Sobel算子联合Canny算子边缘检测方法对步骤三的输出图像进行处理，得到晶圆边缘；步骤五、通过Hough直线检测对步骤四的晶圆边缘计算出晶圆边缘点；步骤六、采用最小二乘法拟合边缘点获得晶圆圆心位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州大学 一种基于机器视觉的晶圆圆心检测定位的方法
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