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申请/专利权人：深圳市轴心自控技术有限公司
摘要：本发明涉及晶圆生产技术领域，并提供了一种晶圆圆心校正方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：读取数据；数据预处理；滤波；获得圆心和初始notch角度；旋转notch到任意角度到生产端；用简便的算法配合线性传感器计算出晶圆的中心，便于生产过程中对晶圆定位，通过读取数据和数据预处理利用晶圆的特性，通过线性传感器集到的数据，具有出色的稳定性，相较于最小二乘圆拟合法，在原始数据波动大的情况下表现更为稳定，以提高晶圆的定位精度，使得校正过程更为可靠。
主权项：1.一种晶圆圆心校正方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1、读取数据；S2、数据预处理；S3、滤波；S4、获得圆心和初始notch角度；S5、旋转notch到任意角度到生产端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市轴心自控技术有限公司 一种晶圆圆心校正方法
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