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申请/专利权人：北京中电科电子装备有限公司
摘要：本发明提供了一种圆形晶圆圆心的定位方法，包括：标定图像获取装置，将视觉坐标系与包括晶圆的空间坐标系相关联；利用图像获取装置，获取晶圆的边缘上的第一圆弧；旋转晶圆所在的旋转台至预设角度，获取晶圆的边缘上的第二圆弧，其中第二圆弧与第一圆弧相接，并且将第二圆弧与第一圆弧拼接为一圆弧；重复直至完成对晶圆的边缘完整一周的图像采集，获取晶圆的边缘所构成的完整弧形；基于geohuber参数，将完整弧形拟合为圆形图像；将圆形图像的圆心确定为晶圆的圆心，本发明的数据来源为整个圆的边缘，对机械结构精度和产品精度要求低，在较差的工艺条件下仍可达到较高的精度。
主权项：1.一种圆形晶圆圆心的定位方法，其特征在于，包括：步骤S1，标定图像获取装置，将视觉坐标系与包括晶圆的空间坐标系相关联；步骤S2，利用所述图像获取装置，获取所述晶圆的边缘上的第一圆弧；步骤S3，旋转所述晶圆所在的旋转台至预设角度，获取所述晶圆的边缘上的第二圆弧，其中所述第二圆弧与所述第一圆弧相接，并且将所述第二圆弧与所述第一圆弧拼接为一圆弧；步骤S4，重复步骤S3，直至完成对所述晶圆的边缘完整一周的图像采集，获取所述晶圆的边缘所构成的完整弧形；步骤S5，基于geohuber参数，将所述完整弧形拟合为圆形图像；步骤S6，将所述圆形图像的圆心确定为所述晶圆的圆心。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中电科电子装备有限公司 一种圆形晶圆圆心的定位方法
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