龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种晶圆圆心校准方法及晶圆修边设备。该晶圆圆心校准方法包括：S1、获取标定点的位置坐标x1,y1；S2、将旋转平台转动90°，获取标定点的位置坐标x2,y2；S3、计算坐标x1,y1到旋转平台圆心所在的第一直线的距离a＝x2‑x1+y2‑y12，计算标记点到旋转平台圆心所在的第二直线的距离b＝x1‑x2+y2‑y12；S4、确定旋转平台的圆心坐标x0,y0，其中x0＝x1+a＝x2+x1+y2‑y12，y0＝y1+b＝x1‑x2+y2+y12；S5、确定晶圆的圆心位置坐标x0',y0'；S6、计算晶圆的圆心与旋转平台的圆心的距离偏差e；S7、若距离偏差e大于允许偏差E，调整晶圆的位置，直至距离偏差e不大于允许偏差E。该晶圆修边设备使用该晶圆圆心校准方法，能够对旋转平台上的晶圆位置进行校准，提高修边质量和加工良率。
主权项：1.晶圆圆心校准方法，其特征在于，包括：S1、在旋转平台1上标记标定点，并获取所述标定点的位置坐标x1,y1；S2、将所述旋转平台1转动90°，获取所述标定点的位置坐标x2,y2；S3、计算坐标x1,y1到所述旋转平台1圆心所在的第一直线的距离a＝x2-x1+y2-y12，计算所述标记点到所述旋转平台1圆心所在的第二直线的距离b＝x1-x2+y2-y12；其中，所述第一直线平行于Y轴，所述第二直线平行于X轴；S4、确定所述旋转平台1的圆心坐标x0,y0，其中x0＝x1+a＝x2+x1+y2-y12，y0＝y1+b＝x1-x2+y2+y12；S5、将晶圆100放置在所述旋转平台1上，确定所述晶圆100的圆心位置坐标x0',y0'；S6、根据公式计算所述晶圆100的圆心与所述旋转平台1的圆心的距离偏差e；S7、若所述距离偏差e大于允许偏差E，调整所述晶圆100在所述旋转平台1上的位置，直至所述距离偏差e不大于所述允许偏差E。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波芯丰精密科技有限公司 晶圆圆心校准方法及晶圆修边设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号