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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本申请属于靶材制备技术领域，公开了一种高密度CZT靶材的制备方法，该方法先将锌粉、碲化镉粉、碲粉、银粉按9～15：65：20～30：0.01～0.03的质量比混合，得到粉体一，再将粉体一烧结、破碎、过筛，得到粒径为80～120目的粉体二和粒径为180～220目的粉体三，进一步将粉体二和粉体三按照0.9～1.1：1的质量比混合、均质，制得粉体四，随后将粉体四装入模具中压结，得到CZT素坯，最后将CZT素坯真空热压、冷却，制得高密度CZT靶材，通过以银粉、与碲粉、镉粉、锌粉混合后烧结得到CZT，在经过破碎、过筛、热压烧结得到CZT靶材，制备的靶材致密度达到99％，此外，本申请还公开了一种高密度CZT靶材。
主权项：1.一种高密度CZT靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将锌粉、碲化镉粉、碲粉、银粉按9～15：65：20～30：0.01～0.03的质量比混合，得到粉体一；步骤2：将粉体一烧结、破碎、过筛，得到粒径为80～120目的粉体二和粒径为180～220目的粉体三；步骤3：将步骤2制得的粉体二和粉体三按照0.9～1.1：1的质量比混合、均质，制得粉体四，随后将粉体四装入模具中压结，得到CZT素坯；步骤4：将步骤3制得的CZT素坯真空热压、冷却，制得高密度CZT靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种高密度CZT靶材及其制备方法
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