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一种高铜柱堆叠的面对面芯片封装结构 

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申请/专利权人:江苏芯德半导体科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种高铜柱堆叠的面对面芯片封装结构,包括第一芯片、第二芯片、再布线金属层一、高铜柱和再布线金属层二,第一芯片的背面和四周侧面包覆有塑封层一,第二芯片与第一芯片面对面设置,再布线金属层一位于第一芯片与第二芯片之间,再布线金属层一与第二芯片通过金属焊盘和微凸块连接、且间隙处设有填充料,高铜柱分端分别连接再布线金属层一、二,高铜柱和第二芯片被塑封层二包覆。本实用新型用高铜柱穿透塑封料的形式,实现3D晶圆级封装,可减少封装面积和电性能传输路径,采用面对面芯片贴装并通过高铜柱连接,在单位体积内实现更高封装密度,提高走线的可能性和灵活性,降低封装工艺难度,能实现更快的信号传输效率,降低功耗。

主权项:1.一种高铜柱堆叠的面对面芯片封装结构,其特征在于,包括:第一芯片1,所述第一芯片1的背面和四周侧面包覆有塑封层一2;第二芯片4,所述第二芯片4倒装于第一芯片1上方,所述第二芯片4与第一芯片1面对面设置;再布线金属层一3,所述再布线金属层一3位于第一芯片1与第二芯片4之间,所述再布线金属层一3的下表面与第一芯片1连接,所述再布线金属层一3的上表面与第二芯片4连接,所述再布线金属层一3与第二芯片4的连接间隙处设有填充料5;高铜柱6,所述高铜柱6的底部连接再布线金属层一3;塑封层二7,所述塑封层二7包裹高铜柱6和第二芯片4,所述高铜柱6的顶部与塑封层二7的上表面齐平。

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权利要求:

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