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申请/专利权人：住友电气工业株式会社
摘要：本公开涉及一种使光部件内的光波导的宽度、厚度的控制变得容易的制造方法等。该制造方法具备玻璃构件的准备工序、飞秒激光的激光照射工序以及激光聚光点的聚光点移动工序。激光具有在玻璃构件引起折射率变化的能量和平顶形状的光强度分布。光束照射区域由最大光强度的1e2以上的区域的轮廓定义。平顶区域由最大光强度的12以上的区域的轮廓定义，具有光束照射区域的面积的0.45倍以上的面积。光束照射区域和扫描方向所成的角度为70°以上且110°以下，与玻璃构件的厚度方向正交的面和扫描方向所成的角度为20°以下。
主权项：1.一种光部件的制造方法，具备：准备工序，准备要在内部设置连续的折射率变化区域的玻璃构件；激光照射工序，将飞秒激光以在所述玻璃构件内聚光的方式照射于所述玻璃构件内；以及聚光点移动工序，使所述飞秒激光的聚光点的位置相对于所述玻璃构件沿着扫描方向相对地移动，其中，所述飞秒激光具有针对所述玻璃构件引起光致折射率变化的能量，包含所述飞秒激光的所述聚光点并与所述玻璃构件的厚度方向正交的面上的光强度分布具有平顶区域，包含所述聚光点并与所述玻璃构件的厚度方向正交的所述面上的光束照射区域是所述飞秒激光的光束点，并且是由所述光强度分布中的光强度为最大光强度的1e2以上的区域的轮廓定义的连续的一个区域，所述平顶区域是所述最大光强度的12以上的区域，所述平顶区域的面积为所述光束照射区域的面积的0.45倍以上，所述光束照射区域的宽度成为最大的方向和所述扫描方向所成的角度为70°以上且110°以下，与所述玻璃构件的厚度方向正交的所述面和所述扫描方向所成的角度为20°以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友电气工业株式会社 光部件的制造方法和光部件
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