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申请/专利权人：成都沃特塞恩电子技术有限公司
摘要：本发明提供了一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法，属于微波系统领域。上述系统包括机架及上述反应腔组件，反应腔组件的内腔中设置有隔离板，通过隔离板上设置有多孔陶瓷对腔体中的粉尘进行吸附，从而降低反应腔中的粉尘含量；进而能够确保反应腔中的反应能够正常进行。而上述控制方法主用于控制上述MPCVD系统，其主要是对上述MPCVD系统进行智能控制，从而能够实现自动切换可用气流通道；并及时提示工作人员更换不可用多孔陶瓷；进而保证整个系统的正常运行，提高了整体的工作效率。
主权项：1.一种反应腔组件，其特征在于，包括：腔体，所述腔体为圆筒状结构；隔离板，所述隔离板设置在腔体的下部，并与所述腔体密封连接，所述隔离板上设置有至少一组安装孔，所述至少一组安装孔中均设置有多孔陶瓷，所述多孔陶瓷用于吸附所述腔体中的粉尘；抽气管，所述抽气管与所述隔离板直接或间接连接，并与所述至少一组安装孔连通。
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权利要求：
百度查询： 成都沃特塞恩电子技术有限公司 一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法
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