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申请/专利权人:浙江昕微电子科技有限公司
摘要:本发明适用于晶圆搬运技术领域,提供了晶圆对准方法及其搬运机械手臂,包括:支撑台,所述支撑台的上端设置有旋转调节组件,所述旋转调节组件的上端设置有水平升降组件,所述水平升降组件的上端设置有牙叉移动组件,所述牙叉移动组件中设置有牙叉组件,通过设置牙叉组件,牙叉组件中设置真空吸泵,便于在牙叉对圆晶进行叉取时,通过真空吸泵在进行吸附,提高稳定性,避免掉落,通过设置伸缩杆,便于根据圆晶的尺寸对牙叉本体进行调节,以便使用于不同尺寸的圆晶使用,通过设置旋转调节组件、水平升降组件、牙叉移动组件、牙叉组件以及校准组件,便于提高效率。
主权项:1.晶圆搬运机械手臂,其特征在于,包括:支撑台1,所述支撑台1的上端设置有旋转调节组件2,所述旋转调节组件2的上端设置有水平升降组件3,所述水平升降组件3的上端设置有牙叉移动组件4,所述牙叉移动组件4中设置有牙叉组件5。
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百度查询: 浙江昕微电子科技有限公司 晶圆对准方法及其搬运机械手臂
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