龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于清洁晶圆研磨垫的装置及晶圆研磨设备，所述装置包括：清洁布；转动平台，所述清洁布设置在所述转动平台上，所述转动平台通过转动在第一位置和第二位置之间切换，在所述第一位置中，设置在所述转动平台上的所述清洁布贴合所述晶圆研磨垫的待清洁表面以对所述待清洁表面进行清洁，在所述第二位置中，所述转动平台连同设置在所述转动平台上的所述清洁布一起远离所述晶圆研磨垫。
主权项：1.一种用于清洁晶圆研磨垫的装置，其特征在于，所述装置包括：清洁布；转动平台，所述清洁布设置在所述转动平台上，所述转动平台通过转动在第一位置和第二位置之间切换，在所述第一位置中，设置在所述转动平台上的所述清洁布贴合所述晶圆研磨垫的待清洁表面以对所述待清洁表面进行清洁，在所述第二位置中，所述转动平台连同设置在所述转动平台上的所述清洁布一起远离所述晶圆研磨垫。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种用于清洁晶圆研磨垫的装置及晶圆研磨设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号