龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：盛吉盛(韩国)半导体科技有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种气压供给管路及CVD装置，包括与气源连接的总管道、分别与所述总管道连通的分支管道，所述分支管道包括与用于控制有害气体的供给的开闭装置连接的第一分支管道；在所述总管道上沿气体流动方向依次设置有总开关阀、气压调节装置和杂质去除装置；在所述第一分支管道上沿气体流动方向依次设置有异常阻断装置和分支气压检测装置。采用本发明能够调节供气的气压和净化气体，并控制第一分支管道的通断。
主权项：1.一种气压供给管路，包括与气源连接的总管道、分别与所述总管道连通的分支管道，其特征在于，所述分支管道包括与用于控制有害气体的供给的开闭装置连接的第一分支管道；在所述总管道上沿气体流动方向依次设置有总开关阀、气压调节装置和杂质去除装置；在所述第一分支管道上沿气体流动方向依次设置有异常阻断装置和分支气压检测装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛吉盛(韩国)半导体科技有限公司 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 气压供给管路及CVD装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号