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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第五十五研究所

摘要：本发明公开了一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，开关包括衬底结构、用于传输射频微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构及用于直流驱动的驱动结构。共面波导结构包括位于中间的输入信号线、输出信号线和位于两侧的地线。悬臂梁右顶端下方有环形触点，悬臂梁下面的衬底结构表面有驱动电极。制备方法包括：在衬底上溅射金属并刻蚀形成共面波导结构和驱动结构；在共面波导结构和驱动结构上涂覆一层牺牲层；各向异性刻蚀牺牲层形成环形凹槽；各向同性刻蚀，拓展凹槽形成圆环形触点；在牺牲层上溅射一层金属并刻蚀出悬臂梁结构，然后电镀增厚；腐蚀牺牲层释放结构获得开关。本发明环形触点结构大大增加触点接触面积，从而提高开关导通态性能。

主权项：1.一种环形触点射频微机械开关，其特征在于，所述射频微机械开关包括衬底结构（1）、用于传输射频微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构以及用于直流驱动的驱动结构；所述共面波导结构包括输入信号线（2）、输出信号线（3）、第一地线（4）和第二地线（5），所述悬臂梁结构包括L型悬臂梁（7）和环形触点（8），所述驱动结构为驱动电极（6）；衬底结构（1）的上表面的形状为矩形，输入信号线（2）和输出信号线（3）均设置于衬底结构（1）的上表面的中间，且输入信号线（2）和输出信号线（3）均垂直于衬底结构（1）的宽边，输入信号线（2）和输出信号线（3）之间存在间距，第一地线（4）和第二地线（5）均设置于衬底结构（1）的上表面，第一地线（4）和第二地线（5）分别位于输入信号线（2）两侧，同时，第一地线（4）和第二地线（5）分别位于输出信号线（3）两侧，输入信号线（2）的一端靠近衬底结构（1）的宽边缘，L型悬臂梁（7）的短臂与输入信号线（2）垂直，且L型悬臂梁（7）的短臂端部与输入信号线（2）的另一端相连，L型悬臂梁（7）的长臂与衬底结构（1）平行，L型悬臂梁（7）的长臂端部下表面设有环形触点（8），驱动电极（6）设置于衬底结构（1）的上表面，且位于L型悬臂梁（7）的长臂下方；所述驱动电极（6）通电从而驱动L型悬臂梁（7）的长臂端部下表面的环形触点（8）接触输出信号线（3），以使所述射频微机械开关闭合；所述驱动电极（6）断电从而驱动L型悬臂梁（7）的长臂端部下表面的环形触点（8）远离输出信号线（3），以使所述射频微机械开关断开。

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