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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明提供一种套刻标识，套刻标识包括：当层结构及前层结构，当层结构包括多个间隔平行排列的第一当层图形，且第一当层图形沿第一方向延伸，前层结构包括至少两个间隔平行排列的第一前层图形，且第一前层图形沿第二方向延伸，其中，第一方向与第二方向垂直；各第一当层图形横跨单个第一前层图形，并沿第二方向间隔排列，且第一当层图形位于平行区域内的部分图形为其伸出部，其中，平行区域为平行排列的第一前层图形之间的区域；位于不同第一前层图形上方且沿第一方向排列的各第一当层图形的尾端之间具有间隔。通过本发明解决了现有的套刻精度量测准确度较低的问题。
主权项：1.一种套刻标识，其特征在于，所述套刻标识包括：当层结构及前层结构，所述当层结构包括多个间隔平行排列的第一当层图形，且所述第一当层图形沿第一方向延伸，所述前层结构包括至少两个间隔平行排列的第一前层图形，且所述第一前层图形沿第二方向延伸，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直；各所述第一当层图形横跨单个所述第一前层图形，并沿所述第二方向间隔排列，且所述第一当层图形位于平行区域内的部分图形为其伸出部，其中，所述平行区域为平行排列的所述第一前层图形之间的区域；位于不同所述第一前层图形上方且沿所述第一方向排列的各所述第一当层图形的尾端之间具有间隔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 套刻标识及提升套刻精度量测准确性的方法
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