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申请/专利权人：无锡微慢哪技术有限公司
摘要：本实用新型涉及扩散炉内晶舟承载结构，包括上炉环、下炉环、支撑板和承载组件，所述支撑板的数量为两个，且分别与上炉环的左右两侧相连，所述下炉环固定在两个支撑板相对一侧之间的底部，所述承载组件设置在右侧支撑板的左侧。该扩散炉内晶舟承载结构，利用支撑架可用于承载放置晶舟，在放入晶舟扩散前，根据晶圆尺寸选择合适大小的晶舟，并通过拉动若干个承载条沿滑轨外侧滑动来调节相邻承载条之间的间距，进行适应不同尺寸和形状的晶圆，减小应力集中，并且承载条与晶舟之间设有若干橡胶垫块，将支撑点分布得更均匀，而不仅仅是集中在晶舟的边缘，可以减小晶圆中心受到的应力，以此减轻对晶舟的影响，提高承载稳定性和扩散效率。
主权项：1.扩散炉内晶舟承载结构，其特征在于：包括上炉环（1）、下炉环（2）、支撑板（3）和承载组件（4）；所述支撑板（3）的数量为两个，且分别与上炉环（1）的左右两侧相连，所述下炉环（2）固定在两个支撑板（3）相对一侧之间的底部，所述承载组件（4）设置在右侧支撑板（3）的左侧；所述承载组件（4）包括承载架（401），所述承载架（401）与右侧支撑板（3）相连，所述承载架（401）的上侧设置有两个滑轨（402），两个所述滑轨（402）的外侧设置有若干个承载条（403），若干个所述承载条（403）的上侧水平放置有晶舟（404），所述承载条（403）的底部开设有滑槽（405），且承载条（403）通过滑槽（405）装配在滑轨（402）的外侧，以用于调节晶舟（404）的承载中心。
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百度查询： 无锡微慢哪技术有限公司 扩散炉内晶舟承载结构
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