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申请/专利权人:三星显示有限公司
摘要:本公开涉及激光照射装置及其驱动方法,该激光照射装置包括台、激光照射单元、图像获取单元和控制单元,其中,台供衬底设置于其上,激光照射单元将激光照射到台上的衬底,图像获取单元获取衬底的预定区域的图像,控制单元电连接到激光照射单元和图像获取单元,其中,控制单元计算与从图像获取单元提供的图像的灰度值的平均值对应的亮度值,将计算出的亮度值与基准亮度值进行比较,并且输出基于将所计算出的亮度值与基准亮度值进行比较的结果的、关于激光的性能的数据。
主权项:1.激光照射装置,包括:台,供衬底设置于其上;激光照射单元,将激光照射到所述台上的所述衬底;图像获取单元,获取所述衬底的预定区域的图像;以及控制单元,电连接到所述激光照射单元和所述图像获取单元,其中,所述控制单元计算与从所述图像获取单元提供的所述图像的灰度值的平均值对应的亮度值,将计算出的亮度值与基准亮度值进行比较,并且输出关于所述激光的性能的数据,所述数据基于将所计算出的亮度值与所述基准亮度值进行比较的结果而获得,所述基准亮度值是根据在将所述激光照射到所述衬底之前由所述图像获取单元获取的图像的灰度值计算的,以及用于计算所述基准亮度值的所述图像是在所述衬底的所述预定区域中获取的。
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百度查询: 三星显示有限公司 激光照射装置及其驱动方法
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