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申请/专利权人：杭州电子科技大学
摘要：本发明涉及一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，包括谐振腔主体、下圆柱体、同轴波导转换器、环形石英窗口、沉积平台、测温孔、测温仪、观察窗、进气口、出气口及水冷系统，其中谐振腔主体包括抛腔，抛腔是由一段抛物线绕所述谐振腔中轴线旋转一周得到的旋转体，且谐振腔内壁任意一点距离基片中心点的距离大于67λ。本发明可以使谐振腔内电场分布集中，激发等离子体位置稳定、密度高，有助于提高沉积金刚石膜的品质，同时可以减弱对腔室内壁的热辐射和避免腔室内壁沉积石墨及碳的化合物。
主权项：1.一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，其特征在于，包括：-谐振腔主体，所述谐振腔主体由上到下依次包括圆顶盖、抛腔及中圆柱体；所述抛腔与所述中圆柱体相连，所述抛腔设置为由一段抛物线绕所述谐振腔主体的中轴线旋转一周得到的旋转体，所述抛腔的抛物线方程为y＝0.006x2，x＝-83.3～83.3mm，所述中圆柱体的内径大于所述抛腔的最大内径；-下圆柱体，所述下圆柱体包括下圆柱体外壁、下圆柱体内壁及环形天线；-同轴波导转换器，所述同轴波导转换器包括同轴线，所述同轴线包括同轴外导体和同轴内导体；-沉积平台，所述沉积平台设置于所述谐振腔主体的底部，在所述沉积平台的中心设有基片；-环形石英窗口，所述环形石英窗口设置于所述环形天线的内部；所述同轴波导转换器设置于所述沉积平台的下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州电子科技大学 一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置
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