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申请/专利权人：东莞市晟鼎精密仪器有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于石墨舟干法刻蚀的远程等离子体气路系统，包括远程等离子源、可多级分流的分流板、控制单路或多路气体作为工艺气体的气路控制模块、腔体、抽真空匀气板和抽真空管道，所述分流板的一端连通有对工艺气体混气的汇流板，所述气路控制模块安装在汇流板上，所述汇流板的一端连通有进气管，所述分流板的另一端通过远程等离子源与腔体的上端连通，所述远程等离子源安装在腔体的上端，本实用新型通过均匀的进气管道多级分流系统，及抽真空匀气板，使腔体顶部和底部形成一个对流，而石墨舟刚好在腔体这个对流空间，这样均匀的等离子体充分和石墨舟接触而反生化学反应，从而达到均匀性较好的刻蚀效果。
主权项：1.一种用于石墨舟干法刻蚀的远程等离子体气路系统，其特征在于：包括远程等离子源1、可多级分流的分流板、控制单路或多路气体作为工艺气体的气路控制模块、腔体7、抽真空匀气板和抽真空管道8，所述分流板的一端连通有对工艺气体混气的汇流板2，所述气路控制模块安装在汇流板2上，所述汇流板2的一端连通有进气管3，所述分流板的另一端通过远程等离子源1与腔体7的上端连通，所述远程等离子源1安装在腔体7的上端，所述抽真空匀气板安装在腔体7的内底部，且所述抽真空管道8的一端与抽真空匀气板连通，所述抽真空管道8的另一端连接有抽真空泵，所述进气管3口与抽真空管道8组成腔体7内气体对流回路。
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权利要求：
百度查询： 东莞市晟鼎精密仪器有限公司 一种用于石墨舟干法刻蚀的远程等离子体气路系统
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