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申请/专利权人:大连派立特电子科技发展有限公司
摘要:本实用新型公开了一种具有屏蔽磁场结构的中频磁控溅射电源,属于磁控溅射技术领域,包括中频磁控溅射电源芯和电源外壳,所述电源外壳包括安装底座和防护壳,所述防护壳通过紧固螺丝安装于安装底座的顶部,本实用新型通过将电磁屏蔽罩置于中频磁控溅射电源芯的外侧,利用电磁屏蔽罩与安装底座将中频磁控溅射电源芯置于内部,防止外界的磁场对电芯造成干扰,然后通过安装块和连接块将电磁屏蔽罩与支撑脚和支撑块连接,无论电源怎样摆放,电磁屏蔽罩均可通过支撑脚和支撑块与地面接触,将电磁屏蔽罩产生的电流导出,保护电源,避免电源供电的设备不带有地线,无法将电磁屏蔽罩上的感应电流排出。
主权项:1.一种具有屏蔽磁场结构的中频磁控溅射电源,包括中频磁控溅射电源芯(1)和电源外壳(2),其特征在于:所述电源外壳(2)包括安装底座(201)和防护壳(202),所述防护壳(202)通过紧固螺丝安装于安装底座(201)的顶部,所述中频磁控溅射电源芯(1)安装于安装底座(201)的顶部并位于防护壳(202)的内腔,所述中频磁控溅射电源芯(1)的一侧设置有电源输出端(3),所述电源输出端(3)向外延伸,所述防护壳(202)外表面开设有通槽(4),所述通槽(4)与电源输出端(3)卡接,所述防护壳(202)的内腔固定安装有电磁屏蔽罩(5),所述电磁屏蔽罩(5)罩设于中频磁控溅射电源芯(1)的外侧,所述安装底座(201)底部的四周均安装有支撑脚(6),所述防护壳(202)顶部的四周均安装有支撑块(7)。
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