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申请/专利权人：大连派立特电子科技发展有限公司
摘要：本实用新型公开了一种具有屏蔽磁场结构的中频磁控溅射电源，属于磁控溅射技术领域，包括中频磁控溅射电源芯和电源外壳，所述电源外壳包括安装底座和防护壳，所述防护壳通过紧固螺丝安装于安装底座的顶部，本实用新型通过将电磁屏蔽罩置于中频磁控溅射电源芯的外侧，利用电磁屏蔽罩与安装底座将中频磁控溅射电源芯置于内部，防止外界的磁场对电芯造成干扰，然后通过安装块和连接块将电磁屏蔽罩与支撑脚和支撑块连接，无论电源怎样摆放，电磁屏蔽罩均可通过支撑脚和支撑块与地面接触，将电磁屏蔽罩产生的电流导出，保护电源，避免电源供电的设备不带有地线，无法将电磁屏蔽罩上的感应电流排出。
主权项：1.一种具有屏蔽磁场结构的中频磁控溅射电源，包括中频磁控溅射电源芯（1）和电源外壳（2），其特征在于：所述电源外壳（2）包括安装底座（201）和防护壳（202），所述防护壳（202）通过紧固螺丝安装于安装底座（201）的顶部，所述中频磁控溅射电源芯（1）安装于安装底座（201）的顶部并位于防护壳（202）的内腔，所述中频磁控溅射电源芯（1）的一侧设置有电源输出端（3），所述电源输出端（3）向外延伸，所述防护壳（202）外表面开设有通槽（4），所述通槽（4）与电源输出端（3）卡接，所述防护壳（202）的内腔固定安装有电磁屏蔽罩（5），所述电磁屏蔽罩（5）罩设于中频磁控溅射电源芯（1）的外侧，所述安装底座（201）底部的四周均安装有支撑脚（6），所述防护壳（202）顶部的四周均安装有支撑块（7）。
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