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一种复合异质结光电探测器及其制备方法 

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申请/专利权人:中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学

摘要:本发明提供一种复合异质结光电探测器及其制备方法,其中,光电探测器包括:硅基底和位于硅基底上表面的SiO2绝缘层,硅基底和SiO2绝缘层上刻蚀有硅孔,硅孔内外延制备有PbTe材料,PbTe材料上沉积有位于硅孔内的三维石墨烯,得到PbTe‑grapheneSi复合异质结,硅基底的底面和所述SiO2绝缘层的上表面上均设置有电极,形成PbTe‑grapheneSi复合异质结结构的光电探测器。本发明实现了PbTe材料与三维石墨烯材料优势复合,延长了载流子寿命,提高了器件的增益,降低了器件暗电流,操作简单,室温制备,成本低廉,为制备具有宽光谱响应、高响应度和高灵敏度的光电探测器提供了研究思路。

主权项:1.一种复合异质结光电探测器,其特征在于,包括:硅基底和位于所述硅基底上表面的SiO2绝缘层,所述硅基底为P型硅,所述硅基底和SiO2绝缘层上刻蚀有硅孔,所述硅孔内外延制备有PbTe材料,制备得到的PbTe材料为N型,所述PbTe材料通过电化学原子层外延沉积技术制备得到,所述PbTe材料上沉积有位于硅孔内的三维石墨烯,所述三维石墨烯采用微波等离子化学气相沉积技术沉积,三维石墨烯在室温状态直接沉积在PbTe材料上形成复合材料,得到PbTe-grapheneSi复合异质结,所述硅基底的底面和所述SiO2绝缘层的上表面上均设置有电极,形成PbTe-grapheneSi复合异质结结构的光电探测器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 重庆大学 一种复合异质结光电探测器及其制备方法

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