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申请/专利权人：通威微电子有限公司
摘要：本发明提供了一种碳化硅晶体notch槽加工设备及方法，属于碳化硅生产领域，通过先采用砂轮加工装置对碳化硅晶体进行粗加工，以在碳化硅晶体上形成过渡槽，再通过超声波加工装置在过渡槽的基础上进行精加工，将过渡槽扩大形成notch槽。先砂轮加工后超声波加工的目的在于，砂轮加工相对超声波加工成本低廉，先用砂轮加工出过渡槽，可以有效减少后续超声波加工的切削量，从而减缓超声波加工装置的刀具磨损速率，降低超声波加工装置的维护成本，超声波加工对晶体产生的热损伤远小于砂轮，在砂轮加工过程中晶体受到热损伤的部位，后续会被超声波加工装置去除，如此即可兼顾加工成本和晶体质量。
主权项：1.一种碳化硅晶体notch槽加工设备，其特征在于，包括：砂轮加工装置，用于在碳化硅晶体200上加工过渡槽210；超声波加工装置100，所述超声波加工装置100包括机架110、定位机构120、升降机构130、超声波主机及超声波刀头140，所述定位机构120设置于机架110，用于固定碳化硅晶体200，所述升降机构130设置于机架110，所述超声波刀头140可拆卸连接于所述升降机构130，用于在所述升降机构130的驱动下升降，所述超声波刀头140具有刀具142，所述超声波主机与所述超声波刀头140连接，用于驱动所述刀具142沿竖直方向直线往复振动，以在所述超声波刀头140下降时切削所述过渡槽210的槽壁以将所述过渡槽210扩大形成所述notch槽220。
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