龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：成都博视达科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆检测设备技术领域，公开了一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备，包括NOTCH定位组件、NOTCH图像采集组件、边缘图像检测组件、吸晶圆旋转组件和X轴模组，所述NOTCH定位组件、NOTCH图像采集组件和边缘图像检测组件设置在检测工位的周围，所述吸晶圆旋转组件安装在X轴模组上，所述X轴模组驱动吸晶圆旋转组件移动直至晶圆位于检测工位，所述吸晶圆旋转组件包括用于吸附晶圆的吸附盘和用于驱动吸附盘转动的驱动电机；所述NOTCH定位组件包括NOTCH感应器，位于检测工位处的晶圆的边缘位于NOTCH感应器的感应区内；本发明提供的一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备，解决了现有技术对晶圆边缘检测效率低的问题。
主权项：1.一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备，其特征在于：包括NOTCH定位组件、NOTCH图像采集组件、边缘图像检测组件、吸晶圆旋转组件和X轴模组，所述NOTCH定位组件、NOTCH图像采集组件和边缘图像检测组件设置在检测工位的周围，所述吸晶圆旋转组件安装在X轴模组上，所述X轴模组驱动吸晶圆旋转组件移动直至晶圆位于检测工位，所述吸晶圆旋转组件包括用于吸附晶圆的吸附盘和用于驱动吸附盘转动的驱动电机；所述NOTCH定位组件包括NOTCH感应器，位于检测工位处的晶圆的边缘位于NOTCH感应器的感应区内；所述NOTCH图像采集组件包括NOTCH图像采集相机，所述NOTCH图像采集相机从晶圆的一侧对准位于检测工位处的晶圆的边缘；所述边缘图像检测组件包括上边缘相机、下边缘相机和晶圆检测区域，位于检测工位处的晶圆的边缘位于晶圆检测区域内，所述上边缘相机和下边缘相机倾斜对准位于晶圆检测区域内的晶圆的边缘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都博视达科技有限公司 一种晶圆NOTCH定位及边缘检测设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号