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申请/专利权人:旭化成微电子株式会社
申请日:2024-01-10
公开(公告)日:2024-08-23
公开(公告)号:CN118541015A
专利技术分类:.结构零部件[2023.01]
专利摘要:本发明提供霍尔元件和霍尔传感器。抑制霍尔元件的偏置电压。霍尔元件具备:基板;活性层,其具有如下十字形状或大致十字形状:在基板上配设有中心部,在该中心部的附近形成一个或多个角部而分别沿着相互交叉的中心轴线延伸;绝缘膜,其形成于活性层上;多个电极,其配设于绝缘膜上,包括经由设于绝缘膜的接触孔而分别连接于活性层的+X侧端部和‑X侧端部的电极6a、6b、分别连接于活性层的+Y侧端部和‑Y侧端部的电极6c、6d,电极6c、6d相对于中心轴线L1、L2至少中心轴线L1对称或大致对称地配置于一个或多个角部之上。能使在无磁场状态下对电极6a、6b之间输入驱动电压时自电极6c、6d之间输出的偏置电压为零或变低。
专利权项:1.一种霍尔元件,其中,该霍尔元件具备:基板;活性层,其配设于所述基板上,具有沿着相互交叉的第1轴和第2轴分别延伸的平面形状;至少一个下部电极,其包括配置于所述活性层的所述第1轴方向的一侧端部上的电极主干部和从该电极主干部沿所述第2轴方向延伸且配置于所述基板上的电极端部,所述电极主干部在所述第1轴方向上的宽度比所述电极端部在所述第1轴方向上的宽度小;绝缘膜,其形成于所述活性层上;以及至少一个电极,其配置于所述绝缘膜上,经由设于该绝缘膜的接触孔而连接于所述下部电极的电极端部。
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