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申请/专利权人：江苏联芯半导体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆花篮技术领域，尤其为一种尺寸可调式的晶圆花篮，包括花篮架，所述花篮架上端固定连接有上伸缩板，所述花篮架下端固定连接有下伸缩板，所述花篮架外侧固定连接有固定板，所述固定板外侧固定连接有空心柱，所述空心柱外侧固定连接有套筒，所述套筒内侧固定连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧另一端固定连接有滑筒，所述滑筒外侧固定连接有限位条，所述滑筒另一端固定连接有滑环板，所述滑环板另一端固定连接有销子，所述空心柱另一端固定连接有固定环板，本实用新型中，通过设置的螺纹杆、自锁螺母、空心柱、销子和销孔，极大程度的增加了晶圆花篮的使用范围，降低了厂商晶圆生产制造过程中的成本，增强了晶圆硅片的收集处理效率。
主权项：1.一种尺寸可调式的晶圆花篮，包括花篮架1，其特征在于：所述花篮架1上端固定连接有上伸缩板2，所述花篮架1下端固定连接有下伸缩板3，所述花篮架1外侧固定连接有固定板4，所述固定板4外侧固定连接有空心柱5，所述空心柱5外侧固定连接有套筒6，所述套筒6内侧固定连接有伸缩弹簧7，所述伸缩弹簧7另一端固定连接有滑筒8，所述滑筒8外侧固定连接有限位条9，所述滑筒8另一端固定连接有滑环板10，所述滑环板10另一端固定连接有销子11，所述空心柱5另一端固定连接有固定环板12，所述固定环板12外侧滑动连接有自锁螺母13，所述自锁螺母13内侧螺旋连接有螺纹杆14，所述自锁螺母13内侧开设有销孔15，所述套筒6内侧开设有滑槽16。
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百度查询： 江苏联芯半导体科技有限公司 一种尺寸可调式的晶圆花篮
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