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一种抗辐照氮化镓功率二极管及其制作方法 

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申请/专利权人:南京大学

摘要:本发明提供了一种抗辐照氮化镓功率二极管及其制作方法,属于半导体技术领域。采用上述制作方法制作的抗辐照氮化镓功率二极管,其与相关技术中的传统器件结构相比,通过将型氮化镓层分段间隔排列,在P型氮化镓层的间隔处以及P型氮化镓层和阳极欧姆金属层之间设置与下方氮化镓层直接接触的肖特基金属层。在反向偏置状态下,辐照产生的空穴能够经由P型氮化镓层的间隔处流动,并经由具有单向导电性的肖特基金属层高效地耗散至器件外部,解决现有技术中氮化镓功率二极管因辐照后发生阳极区域空穴积聚而导致的抗辐照能力差的技术问题。

主权项:1.一种抗辐照氮化镓功率二极管,其特征在于,包括自下而上设置的衬底层(1)、氮化镓层(2)和势垒层(3),所述势垒层(3)上沿第一方向间隔布置有多个P型氮化镓层(4),在与所述第一方向垂直的第二方向上,所述多个P型氮化镓层(4)两侧设置有与所述氮化镓层(2)连接的阳极欧姆金属层(5)和阴极欧姆金属层(6),所述多个P型氮化镓层(4)的上方与间隔处,以及所述多个P型氮化镓层(4)与所述阳极欧姆金属层(5)之间设置有沿所述第一方向布置的肖特基金属层(7),所述肖特基金属层(7)与所述氮化镓层(2)连接,所述阳极欧姆金属层(5)和所述肖特基金属层(7)上方设有阳极顶层金属层(51),所述阴极欧姆金属层(6)上方设有阴极顶层金属层(61),所述势垒层(3)到所述阳极顶层金属层(51)、所述阴极顶层金属层(61)之间的区域填充有绝缘介质层(8)。

全文数据:

权利要求:

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