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申请/专利权人：拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司
摘要：本发明提供了一种夹持装置及晶圆键合设备，所述夹持装置用于夹紧晶圆贴膜环，该夹持装置包括转盘和设于转盘上的至少一对夹持组件，夹持组件包括夹持部和固定块，夹持部和固定块以转盘的圆心为中心相对设置；夹持部包括夹爪和驱动部，驱动部与夹爪连接以驱动夹爪移动；其中，当驱动部驱动夹爪朝固定块的方向移动时，夹爪与固定块共同夹持晶圆贴膜环。本申请通过将夹持部和固定块以转盘的圆心为中心相对设置在转盘上，从而以固定块为基准，通过驱动部驱动夹爪，与固定块共同夹持晶圆贴膜环，以使晶圆贴膜环的中心与转盘的圆心重合，当转盘高速转动时，晶圆和晶圆贴膜环不易发生相对运动，保证晶圆的稳定性，以达到更好的清洗效果。
主权项：1.一种夹持装置，用于夹紧晶圆贴膜环，其特征在于，所述夹持装置包括：转盘和设于所述转盘上的至少一对夹持组件，所述夹持组件包括夹持部和固定块，所述夹持部和所述固定块以所述转盘的圆心为中心相对设置；所述夹持部包括夹爪和驱动部，所述驱动部与所述夹爪连接以驱动所述夹爪移动；其中，当所述驱动部驱动所述夹爪朝所述固定块的方向移动时，所述夹爪与所述固定块共同夹持所述晶圆贴膜环。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司 夹持装置及晶圆键合设备
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