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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本发明涉及一种确定带电粒子装置中电子光学组件的对准的方法。该带电粒子装置包括：孔径阵列和检测器，该检测器被配置为检测与穿过孔径阵列中的对应的孔径的束波相对应的带电粒子。该方法包括：在孔径阵列的一部分之上扫描孔径阵列的平面中的每个束波，在孔径阵列的一部分中限定了孔径阵列的对应的孔径，使得每个束波的带电粒子可以穿过对应的孔径；在扫描期间检测与穿过对应的孔径的每个束波相对应的任何带电粒子；基于在扫描间隔对与每个束波的带电粒子相对应的检测，生成针对每个束波的检测像素；以及收集包括在检测像素中的信息，诸如带电粒子的强度。
主权项：1.一种确定电子光学组件的对准的方法，所述电子光学组件能够在带电粒子装置中的多个束波上操作，所述带电粒子装置包括：孔径阵列和检测器，所述检测器被配置为检测与穿过所述孔径阵列中的对应的孔径的所述束波相对应的带电粒子，所述检测器被定位在沿着所述束波的路径的相对于所述孔径阵列的下游，所述方法包括：在所述孔径阵列的一部分之上扫描所述孔径阵列的平面中的每个束波，在所述孔径阵列的所述一部分中限定了所述孔径阵列的对应的孔径，使得每个束波的带电粒子可以穿过对应的所述孔径；在所述扫描期间检测对应于穿过对应的所述孔径的每个束波的任何带电粒子；基于在所述扫描的间隔对与每个束波相对应的带电粒子的所述检测，生成针对每个束波的检测像素；以及收集包括在所述检测像素中的信息，诸如所述带电粒子的强度。
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权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 对准确定方法和计算机程序
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