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申请/专利权人：国网智能电网研究院有限公司
摘要：一种压电式MEMS麦克风、封装方法、压电陶瓷的制备方法，所述麦克风包括：基底，环形构造以围设成第一音腔；第一压电振膜，为包括压电膜的三角形悬臂梁结构，底边固定于所述基底且三角形的尖端为自由端；第二压电振膜，通过圆形沟槽结构在所述三角形悬臂梁结构的底边区域分隔而出的独立振膜区域；封装壳体，容纳和固定所述基底、第一压电振膜和第二压电振膜，且与所述基底之间围设出第二音腔。本发明通过在KNN溶胶中加入过量K、Na元素以补偿后续挥发，配合Mn掺杂，有效避免了漏电流现象；本发明通过两种压电薄膜面积，保证灵敏度曲线在所述KNN压电薄膜的谐振频率有一个波动范围，从而提高谐振频率，进而提高灵敏度。
主权项：1.一种压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风包括：基底，环形构造以围设成第一音腔；第一压电振膜，为包括压电膜的三角形悬臂梁结构，其中一个底边固定于所述基底，且与所述底边相对的三角形的尖端为自由端；第二压电振膜，通过沟槽结构在所述三角形悬臂梁结构的固定底边区域分隔而出的独立振膜区域；封装壳体，容纳和固定所述基底、第一压电振膜和第二压电振膜，且与所述基底之间围设出第二音腔；所述第一压电振膜包括KNN压电薄膜、顶部电极和底部电极。
全文数据：
权利要求：
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