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申请/专利权人：南亚科技股份有限公司
摘要：一种半导体元件包括基板以及设置于基板主体的覆盖层。基板具有基板主体以及多个侦测区域设置于基板主体的顶表面，其中此些侦测区域的一者包含荧光物质。覆盖层具有多个孔洞，并且各侦测区域对应各孔洞。还提供一种制造半导体元件的方法。经由侦测区域的荧光物质的使用，可以确认具有高深宽比的孔洞的叠对误差。
主权项：1.一种半导体元件，其特征在于，包含：基板，其中该基板具有基板主体以及多个侦测区域设置于该基板主体的顶表面，其中所述多个侦测区域的一者包含荧光物质；以及覆盖层设置该基板主体上，其中该覆盖层具有多个孔洞，并且各该侦测区域对应各该孔洞。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南亚科技股份有限公司 半导体元件及其制造方法
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