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申请/专利权人:浙江奥首材料科技有限公司
摘要:本发明涉及一种bump芯片超声波喷涂激光保护液、制备方法、应用和使用其的喷涂激光切割保护方法,所述保护液包括水溶性树脂、紫外吸收剂、有机溶剂、助剂和超纯水,其中通过包含采用具有较低粘度和优异水溶性的水溶性树脂,可以在低树脂含量和低用量的前提下实现对晶圆wafer和bump表面形成均匀和全面的覆盖,而通过使用特定的助剂,非常有利于雾化液滴在wafer表面上的铺展,可促进wafer与膜层的分子之间的良好接触,进一步提高膜层在wafer上附着力,与聚酯具有良好的协同作用。因此该保护液特别适用于bump芯片超声喷涂的激光切割保护中,在半导体芯片加工和封装领域具有深刻的意义。
主权项:1.一种用于bump芯片超声喷涂的激光保护液,所述激光保护液以质量份计,包括如下组分:
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百度查询: 浙江奥首材料科技有限公司 bump芯片超声波喷涂激光保护液、制备方法、应用和喷涂方法
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