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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及等离子EUV技术领域，特别涉及一种稳定输出EUV光源的方法及装置，该方法提供可电离的预设气体，对预设气体进行预电离得到低价态等离子体；提供高压脉冲，对所述低价态等离子体施加箍缩力，从而将其箍缩到预设位置；提供预设脉冲激光，与所述高压脉冲共同在预设位置对所述低价态等离子体进一步电离得到高价态等离子体，并在该预设脉冲激光及箍缩力的共同作用下，使所述高价态等离子体压缩并加热产生极紫外光。本发明将无电极Z‑pinch系统应用于LPP光源中，用于解决LPP光源系统中等离子体与脉冲激光的同步性问题，进而实现EUV光源的稳定输出。
主权项：1.一种稳定输出EUV光源的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供可电离的预设气体，对预设气体进行预电离得到低价态等离子体；提供高压脉冲，对所述低价态等离子体施加箍缩力，从而将其箍缩到预设位置；提供预设脉冲激光，与所述高压脉冲共同在预设位置对所述低价态等离子体进一步电离得到高价态等离子体，并在该预设脉冲激光及箍缩力的共同作用下，使所述高价态等离子体压缩并加热产生极紫外光。
全文数据：
权利要求：
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