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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及等离子体技术领域，特别涉及一种EUV光源系统及方法，EUV光源系统包括探测组件，控制模块，电力模块、气体装置及放电腔；气体装置用于向放电腔通入工作气体，电力模块用于向放电腔施加电压使工作气体电离，探测组件分别与电力模块、气体装置、放电腔以及控制模块信号连接，探测组件监测电力模块放电腔的电压信号、气体装置的气流量及放电腔的工作参数并反馈给控制模块，控制模块根据探测组件反馈的信息并在电压信号，气流量以及放电腔的工作参数不处于对应的预设范围时，控制对应模块进行调整。控制模块接收探测组件反馈的信息调整气体流量使得腔内EUV辐射功率达到最优。
主权项：1.一种EUV光源系统，其特征在于：所述EUV光源系统包括探测组件，控制模块，电力模块、气体装置及放电腔；所述气体装置用于向所述放电腔通入工作气体，所述电力模块用于向所述放电腔施加电压使工作气体电离，所述探测组件分别与所述电力模块、所述气体装置、所述放电腔以及所述控制模块信号连接，所述探测组件监测所述电力模块所述放电腔的电压信号、所述气体装置的气流量及所述放电腔的工作参数并反馈给所述控制模块，所述控制模块根据所述探测组件反馈的信息并在所述电压信号，所述气流量以及所述放电腔的工作参数不处于对应的预设范围时，控制对应模块进行调整。
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百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种EUV光源系统及方法
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