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申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明涉及太赫兹无损检测技术领域，具体涉及一种基于时域反射法的电子线路太赫兹无损检测系统，包括：光源与分光模块、强场太赫兹脉冲产生模块、太赫兹收集与传输模块、样品检测模块和太赫兹脉冲探测模块；将激光光束分为泵浦光束和探测光束；泵浦光束进入强场太赫兹脉冲产生模块，产生强场太赫兹脉冲；太赫兹传输与收集模块对强场太赫兹脉冲进行收集，并传输到样品检测模块；样品检测模块收集电子线路样品对太赫兹脉冲的反射信号；探测光束进入太赫兹脉冲探测模块，太赫兹脉冲探测模块对所述反射信号进行相干测量；本发明能够基于产生的强场太赫兹脉冲对电子线路内部缺陷进行更高性能的无损探测。
主权项：1.一种基于时域反射法的电子线路太赫兹无损检测系统，其特征在于，所述系统包括光源与分光模块、强场太赫兹脉冲产生模块、太赫兹收集与传输模块、样品检测模块和太赫兹脉冲探测模块；其中，光源与分光模块包括：激光器1和第一分束镜2；强场太赫兹脉冲产生模块包括：第一反射镜3、光学延迟线14、第一反射光栅4、第二反射镜5、第一成像系统6、第一半波片7和铌酸锂晶体8；太赫兹收集与传输模块包括：第三反射镜9、第一抛物面镜10和耦合器11；样品检测模块包括：探针12和电子线路样品台13；所述激光器1产生激光，第一分束镜2将激光光束分为泵浦光束和探测光束；所述泵浦光束进入强场太赫兹脉冲产生模块，产生强场太赫兹脉冲；所述太赫兹传输与收集模块对所述强场太赫兹脉冲进行收集，并传输到所述样品检测模块；所述样品检测模块收集电子线路样品对太赫兹脉冲的反射信号；所述探测光束进入太赫兹脉冲探测模块，所述太赫兹脉冲探测模块对所述反射信号进行相干测量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种基于时域反射法的电子线路太赫兹无损检测系统
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