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申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶体生长的单晶生长炉，本发明涉及碳化硅晶体生长技术领域，包括炉体，炉体采用高纯度氧化铝陶瓷材料制成，具有优良的耐高温性能，炉体顶部法兰安装有炉盖，炉盖表面中部固定连接有副炉室，副炉室顶部安装有提升组件，炉盖表面边侧法兰安装有视觉传感器，炉盖表面远离视觉传感器的边侧安装有气氛组件，炉盖朝向炉体的一面中部固定安装有存温组件，炉体内侧中部安装有陶瓷加热器。该碳化硅晶体生长的单晶生长炉，通过短接管和粗环管的使用，将硅源和碳源填充满整个炉体，使得气氛在炉体内侧的均匀分布，实现对炉体内部温场的明确划分与独立控制，实现对炉体内部温场的精确把控。
主权项：1.一种碳化硅晶体生长的单晶生长炉，包括炉体（1），所述炉体（1）采用高纯度氧化铝陶瓷材料制成，所述炉体（1）顶部法兰安装有炉盖（2），所述炉盖（2）表面中部固定连接有副炉室（3），所述副炉室（3）顶部安装有提升组件（4），所述炉盖（2）表面边侧法兰安装有视觉传感器（5），其特征在于：所述炉盖（2）表面远离视觉传感器（5）的边侧安装有气氛组件（7），所述炉盖（2）朝向炉体（1）的一面中部固定安装有存温组件（9），所述炉体（1）内侧中部安装有陶瓷加热器（10）；所述气氛组件（7）包括直管（71），所述直管（71）表面连接有两个循环组件（72），所述炉体（1）与炉盖（2）之间安装有双环套管（74），所述双环套管（74）表面呈中心对称状连接有下接管（73），所述直管（71）顶部螺纹连接有第一阀头（75），所述直管（71）远离第一阀头（75）的一端连接有回吸泵（78）；所述存温组件（9）包括扁葫芦体（91），且扁葫芦体（91）与炉盖（2）固定连接，所述扁葫芦体（91）内壁上嵌合安装有同心圈管（92），所述同心圈管（92）与扁葫芦体（91）嵌合的部位安装有喷嘴（93），且喷嘴（93）在同心圈管（92）表面呈圆形阵列状安装。
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百度查询： 东莞市鼎力自动化科技有限公司 一种碳化硅晶体生长的单晶生长炉
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