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薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法及显示面板 

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申请/专利权人:合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司

摘要:本申请实施例提供一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法及显示面板,涉及显示技术领域。在薄膜晶体管中,第一电极、半导体层和第二电极在垂直基底或者近似垂直基底的方向分布,位于第一电极和第二电极之间的半导体层形成沟道,即沟道在垂直基底或者近似垂直基底的方向分布,相对于沟道在平面上分布的方式,在确保晶体管的驱动能力的前提下,本实施例提供的薄膜晶体管在平面上所占面积更小,有利于显示面板像素密度的进一步提升。

主权项:1.一种薄膜晶体管,其特征在于,所述薄膜晶体管包括:基底;第一电极,所述第一电极位于所述基底上;保护层,所述保护层位于所述基底的设置有所述第一电极的一侧,所述保护层的远离所述基底的一侧设置有凹槽;栅极,所述栅极位于所述凹槽的内侧壁上;栅极绝缘层,所述栅极绝缘层位于所述栅极远离所述凹槽的内侧壁的一侧;半导体层,所述半导体层位于在所述栅极绝缘层围合形成的空间内,所述半导体层靠近所述基底的一侧与所述第一电极连接;第二电极,所述第二电极与所述半导体层远离所述基底的一侧连接。

全文数据:

权利要求:

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