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薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板 

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申请/专利权人:昆山国显光电有限公司

摘要:本申请提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板,薄膜晶体管包括基板;第一电极,第一电极包括相邻设置的第一部和第二部;第一隔离层,第一隔离层至少部分覆盖第一部背离基板一侧,第一隔离层包括第一侧壁,第一侧壁所在面为非环形面;第二电极,位于第一隔离层背离基板一侧,第二电极包括第二侧壁;半导体层,与第二部背离基板的至少部分表面、第一侧壁、第二侧壁、第二电极背离基板的表面接触;以及控制电极,与半导体层绝缘设置。通过形成直线型垂直沟道的薄膜晶体管,可以减小薄膜晶体管的尺寸,有利于提高显示面板的PPI,且可以减小栅极和源极之间、栅极和漏极之间以及源极和漏极之间产生的寄生电容,有利于降低功耗。

主权项:1.一种薄膜晶体管,其特征在于,包括:基板;第一电极,位于所述基板一侧,所述第一电极包括相邻设置的第一部和第二部;第一隔离层,所述第一隔离层至少部分覆盖所述第一部背离所述基板一侧,所述第一隔离层包括第一侧壁,所述第一侧壁位于所述第一隔离层靠近所述第二部一侧,所述第一侧壁所在面为非环形面;第二电极,位于所述第一隔离层背离所述基板一侧,所述第二电极包括第二侧壁,所述第二侧壁位于所述第二电极靠近所述第二部一侧,所述第二侧壁所在面为非环形面;半导体层,与所述第二部背离所述基板的至少部分表面、所述第一侧壁、所述第二侧壁、至少部分所述第二电极背离所述基板的表面接触;以及控制电极,位于所述半导体层背离所述基板一侧,与所述半导体层绝缘设置。

全文数据:

权利要求:

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