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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及等离子体发生装置技术领域，特别涉及一种极紫外光源输出设备及方法。一种极紫外光源输出设备，包括光源组件、反射结构和箍缩装置，箍缩装置包括发射装置和电脉冲模块，发射装置内设置有中心孔，界定中心孔一端为接收端，另一端为发射端，中心孔内预设用于生成极紫外光的可电离介质，电脉冲模块用于对发射装置施加电流脉冲；反射结构沿光源组件轴向方向设置；光源组件沿轴向方向生成脉冲激光，且脉冲激光通过反射结构反射进入接收端内，并与电流脉冲作用于预设可电离介质产生电离辐射出极紫外光由发射端输出。通过同轴设置光源组件、反射结构和箍缩装置可以利用反射结构反射光路，以达到节约光学平台的面积，提高光学平台的利用率。
主权项：1.一种极紫外光源输出设备，其特征在于：包括光源组件、反射结构和箍缩装置，所述箍缩装置包括发射装置和电脉冲模块，所述发射装置内设置有中心孔，界定所述中心孔一端为接收端，另一端为发射端，所述中心孔内预设用于生成极紫外光的可电离介质，电脉冲模块用于对发射装置施加电流脉冲；反射结构沿所述光源组件轴向方向设置；所述光源组件沿轴向方向生成脉冲激光，且脉冲激光通过反射结构反射进入接收端内，并将所述可电离介质完全电离形成等离子体，所述等离子体于所述脉冲激光和所述电流脉冲共同作用于等离子体由发射端输出极紫外光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种极紫外光源输出设备及方法
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