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摘要：本发明涉及压电驱动器领域，具体涉及一种具有平面运动能力的尺蠖式压电驱动器，包括X‑Y轴滑台、X轴线性滑台以及安装在X轴线性滑台上的压电驱动器，所述的压电驱动器与X‑Y轴滑台接触，为中心对称的星型结构，由三个驱动单元组成，三个驱动单元各自拥有一个对称面，三个对称面互相成120°；每个驱动单元均由一个压电堆和变形量放大机构组成，所述的压电堆连接驱动电源模块，首末两端与变形量放大机构接触，所述的变形量放大机构包括多个柔性铰链和多个连杆，相邻两连杆之间通过柔性铰链相连。本发明的驱动单元的三项式分布方法，可以让三个单元实现“行走”式配合，从而赋予步进压电驱动器平面运动的能力，同时精简结构。
主权项：1.一种具有平面运动能力的尺蠖式压电驱动器，其特征在于：包括X-Y轴滑台9、X轴线性滑台11以及安装在X轴线性滑台11上的压电驱动器12，所述的压电驱动器12为中心对称的星型结构，由三个驱动单元13组成，三个驱动单元13的对称面互相成120°；每个驱动单元13均由一个压电堆7和变形量放大机构8组成，所述的压电堆7连接驱动电源模块，首末两端与变形量放大机构8接触，所述的变形量放大机构8包括多个柔性铰链5和多个连杆，相邻两连杆之间通过柔性铰链5相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州电子科技大学 一种具有平面运动能力的尺蠖式压电驱动器
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