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摘要：本申请涉及芯片转移封装精密对位技术领域，具体公开了一种带接触力反馈的尺蠖式柔性旋转对位平台，包括：旋转件与驱动件；旋转件可转动设置；驱动件包括：接触头、第一压电陶瓷与第二压电陶瓷；第一压电陶瓷用于驱动接触头直线移动，而使得接触头与旋转件接触或分离；第二压电陶瓷用于在接触头与旋转件接触时，驱动接触头转动，而使得接触头拨动旋转件转动。本方案中，通过第一压电陶瓷和第二压电陶瓷的配合，使得接触头能够靠近至接触旋转件后，采用拨动的方式带动旋转件转动，从而能够满足旋转件大行程旋转的需求同时较直驱式旋转电机具有更高的控制精度，有效解决现有的芯片角度纠偏方式无法兼顾满足控制精度高且大旋转行程需求的问题。

主权项：1.一种带接触力反馈的尺蠖式柔性旋转对位平台，其特征在于，包括：旋转件（10）与驱动件（20）；所述旋转件（10）可转动设置；所述驱动件（20）包括：接触头（21）、第一压电陶瓷（22）与第二压电陶瓷（23）；所述第一压电陶瓷（22）用于驱动所述接触头（21）直线移动，而使得所述接触头（21）与所述旋转件（10）接触或分离；所述第二压电陶瓷（23）用于在所述接触头（21）与所述旋转件（10）接触时，驱动所述接触头（21）转动，而使得所述接触头（21）拨动所述旋转件（10）转动；所述驱动件（20）还包括：第一支撑件（24）和第二支撑件（25）；所述第一支撑件（24）通过第一圆弧柔性铰链（29）可转动连接所述第二支撑件（25）；所述接触头（21）可直线移动设置于所述第一支撑件（24）上；所述第一压电陶瓷（22）设置于所述第一支撑件（24）上；所述第二压电陶瓷（23）设置于所述第二支撑件（25）上，用于驱动所述第一支撑件（24）转动从而带动所述接触头（21）转动；所述第二压电陶瓷（23）通过柔性铰链组件（210）连接所述第一支撑件（24）；所述柔性铰链组件（210）包括：第三直梁柔性铰链（211）、第二圆弧柔性铰链（212）与第四支撑件（213）；所述第四支撑件（213）连接所述第二压电陶瓷（23）；所述第四支撑件（213）的两侧均通过所述第三直梁柔性铰链（211）连接所述第二支撑件（25）；所述第四支撑件（213）通过所述第二圆弧柔性铰链（212）连接所述第一支撑件（24）。

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百度查询： 广东工业大学 一种带接触力反馈的尺蠖式柔性旋转对位平台