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申请/专利权人：长春工业大学
摘要：本发明公开了一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，首先将衬底放在衬底卡盘中，调节Y轴位移平台及X‑Z轴位移平台使衬底移动到模板正下方，再控制X‑Z轴位移平台使压印装置向下运动，直至压印装置与衬底微接触，控制X‑Z轴位移平台进行压印，在压印同时使用Z向振动平台对衬底施加Z向振动，然后利用冷却装置对衬底进行冷却固化，最后用揭开式振动辅助的方法进行脱模，本发明采用Z向振动平台带动衬底进行压印，提高模板空腔的填充率与微纳图案的分辨率；采用吸气泵及多个独立封闭通道在脱模时实现揭开式脱模，在模板在与衬底逐渐分离的同时进行振动辅助，减小模板与压印胶间的粘附力，从而减少脱模时对模板造成的损伤与毁坏，延长模板的使用寿命。
主权项：1.一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，包括工作台、Y轴位移平台、Z向振动平台、冷却装置、加热装置、衬底卡盘、衬底、X-Z轴位移平台、压印装置，其中，工作台置于水平面，Y轴位移平台通过螺钉固定在底板上，Z向振动平台通过螺钉固定在Y轴位移平台上，冷却装置固定在盛物台上，加热装置通过螺钉固定在衬底卡盘外，衬底卡盘通过螺钉固定在冷却装置上，衬底固定在衬底卡盘中，X-Z轴位移平台通过螺钉固定在橫柱上，压印装置通过螺钉固定在X-Z轴位移平台上；所述的工作台包括底板、支撑板、支撑柱、橫柱，其中，底板放置于水平面上，支撑板固连在底板上，支撑柱固连在底板上，橫柱固连在支撑板与支撑柱上；所述的Z向振动平台包括固定板、连接板、铰链结构框一、铰链结构框二、固定框一、固定框二、盛物台，其中，固定板通过螺钉固定在Y轴位移平台上，连接板通过螺钉固定在固定板上，铰链结构框一固连于连接板一侧，铰链结构框二固连于连接板另一侧，固定框一通过螺钉与铰链结构框一相连，固定框二通过螺钉与铰链结构框二相连，盛物台通过螺钉固定在固定框一与固定框二上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长春工业大学 一种基于非谐振辅助的纳米压印装置
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