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申请/专利权人：烟台万华电子材料有限公司
摘要：本发明提供一种乙硅烷提纯剂及其制备方法和应用，基于本发明提供的乙硅烷提纯剂，能高效吸附乙硅烷中低浓度的氨气和硫化氢气体，具有吸附杂质能力强、提纯效果好等特点。所述乙硅烷提纯剂包括载体和负载在所述载体上的过渡金属氧化物和碱土金属氯化物，所述载体选自活性炭和或活性氧化铝，所述过渡金属氧化物中的过渡金属元素选自锰、铁、钴、铜、锌中的一种或多种，所述碱土金属氯化物中的碱土金属元素选自镁、钙、钡、锶中的一种或多种。
主权项：1.一种乙硅烷提纯剂的应用，其特征在于，利用所述乙硅烷提纯剂吸附脱除乙硅烷气体中的氨气和硫化氢；其中，所述乙硅烷提纯剂包括载体和负载在所述载体上的过渡金属氧化物和碱土金属氯化物，所述载体为活性炭，所述过渡金属氧化物中的过渡金属元素选自铁、钴、锌中的一种或多种，所述碱土金属氯化物中的碱土金属元素选自镁、钙、钡、锶中的一种或多种；所述活性炭的平均直径为1-1.5mm，孔径为2-3nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 烟台万华电子材料有限公司 一种乙硅烷提纯剂及其制备方法和应用
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