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申请/专利权人：江苏东玖光电科技有限公司

摘要：本发明提供了一种ITO旋转靶材表面制备设备，属于靶材抛光技术领域。该发明包括机架和待加工靶材，机架的左端设置有靶材驱动电机和往复驱动电机，还包括：可调打磨组件，自适应导流组件，导流清理组件；通过调节扳手和调节螺母可根据靶材的规格调整从动轮和张紧轮的位置，使得不同规格的靶材都能获得最佳的打磨效果；随着可调打磨组件角度的变化，连接箱与导液箱的相对位置发生变化，从而调整研磨液的流量和流向；滑动磁块通过清洁刷循环清理滤网板，滑动磁块在运动过程中更容易疏通滤网板的同时且可以形成倾斜喷洒和雾状效果，结合重力作用和导流板的引导，研磨液能够更有效地覆盖待加工靶材的表面，提高了对ITO旋转靶材表面的抛光质量。

主权项：1.一种ITO旋转靶材表面制备设备，包括机架（1）和待加工靶材（11），所述机架（1）的左端设置有靶材驱动电机（2）和往复驱动电机（3），所述机架（1）的右端设置有对待加工靶材（11）进行定位夹持的定位机构（203），所述靶材驱动电机（2）的输出端通过皮带传动连接有靶材驱动组件（201），所述靶材驱动组件（201）与定位机构（203）相对的一端均固定连接有定位盘（202），所述往复驱动电机（3）的输出端通过皮带传动连接有同步带（301），所述同步带（301）上等距设置有两个移动车（4），所述移动车（4）上安装连接有打磨电机（401），所述机架（1）上设置有与移动车（4）相匹配的滑轨，其特征在于，还包括：可调打磨组件：所述可调打磨组件设置于移动车（4）上，所述可调打磨组件根据待加工靶材（11）的规格对其表面进行适应性的打磨；所述可调打磨组件包括移动车（4）上固定连接的调节架（5）以及打磨电机（401），所述调节架（5）的外侧壁顶端固定连接有挡板（502），所述调节架（5）上转动连接有传动轴（709）和调节扳手（501），所述传动轴（709）上固定连接有驱动轮（7）,所述调节扳手（501）的上固定连接有固定轴（705），所述固定轴（705）上转动连接有从动轮（701），所述调节架（5）的底端活动设置有定位轴（706），所述定位轴（706）通过螺母固定于调节架（5）上，所述定位轴（706）上转动连接有张紧轮（702），所述驱动轮（7）、从动轮（701）、张紧轮（702）的外侧套接有对待加工靶材（11）表面打磨的研磨带（10）；自适应导流组件：所述自适应导流组件设置于可调打磨组件上，所述自适应导流组件根据可调打磨组件的角度控制研磨液的流量以及流向；所述自适应导流组件包括调节架（5）外侧壁固定连接的储液箱（8）以及从动轮（701）侧壁固定连接的连接盘（703），远离调节架（5）的所述储液箱（8）的一侧贯通于其内腔连接有储液凸台（801），所述储液凸台（801）的一侧贯通连接有输液软管（802），所述储液凸台（801）的外侧转动连接有导液箱（6），所述导液箱（6）的内侧设置有密封环（601），所述连接盘（703）的中心轴上转动连接有连接箱（603），远离连接盘（703）中心轴的所述导液箱（6）的一端贯通连接有导液杆（604），所述导液箱（6）与连接箱（603）之间通过连接弹簧（605）弹性连接；导流清理组件：所述导流清理组件设置于自适应导流组件上，所述导流清理组件利用磁力清理自适应导流组件并进一步调整研磨液的流向；所述导流清理组件包括限位腔（9）内固定连接的限位杆（901）以及朝向待加工靶材（11）的所述连接箱（603）的外侧壁上固定连接的多组导流板（906），所述限位杆（901）上滑动连接有滑动磁块（903），所述滑动磁块（903）的侧壁与限位腔（9）的内侧壁相抵，所述滑动磁块（903）的下侧壁固定连接有对滤网板（905）进行疏通的清洁刷（904），连接有限位杆（901）的所述限位腔（9）的内侧壁对称安装有两个复位弹簧（902），所述复位弹簧（902）滑动套接于限位杆（901）的外侧，所述滑动磁块（903）位于两个复位弹簧（902）之间；所述导流清理组件还包括连接盘（703）中心轴上固定连接的弧形磁块（704），所述连接箱（603）的内腔设置有与弧形磁块（704）相匹配的滑槽，所述连接盘（703）中心轴与连接箱（603）之间密封转动连接，所述滑动磁块（903）与弧形磁块（704）的相对面为不同极磁性设置，多组所述导流板（906）呈喇叭状向两侧对称扩散式设置，所述导流板（906）为两侧长、中间短状设置，位于内侧的所述导流板（906）上贯穿于其侧壁设置有串流槽（907），所述滤网板（905）与导流板（906）为非相切状设置。

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