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申请/专利权人：无锡贝伦思科技有限公司
摘要：本申请涉及晶圆加工设备技术的领域，尤其涉及一种超声波清洗晶圆用磁悬浮马达结构，其装配于清洗箱上，包括防水罩、驱动磁铁、外壳、转体、从动磁铁、金属衬圈和密封塞，防水罩连接于清洗箱上，驱动磁铁套设于防水罩的外部，外壳连接于磁铁外部，外壳外部设置有驱动外壳转动的驱动机构，清洗箱上开设有安装孔，安装孔的直接大于转体的直径，转体穿过安装孔设置于防水罩内，转体的一端连接有夹持辊，另一端开设有安装腔，从动磁铁和金属衬圈均卡设于安装腔内，从动磁铁位于转体和金属衬圈之间，密封塞塞设于安装腔内。本申请具有改善因马达与清洗箱的密封圈之间摩擦产生颗粒超标影响晶圆清洗效果的问题，提高对马达和机台的保护效果的作用。
主权项：1.一种超声波清洗晶圆用磁悬浮马达结构，装配于清洗箱1上，其特征在于：包括防水罩2、驱动磁铁3、外壳4、转体5、从动磁铁6、金属衬圈7和密封塞8，所述防水罩2连接于清洗箱1上，所述驱动磁铁3套设于防水罩2的外部，所述外壳4连接于驱动磁铁3外部，所述外壳4外部设置有驱动外壳4转动的驱动机构，所述清洗箱1上开设有安装孔11，所述安装孔11的直接大于转体5的直径，所述转体5穿过安装孔11设置于防水罩2内，所述转体5的一端连接有夹持辊51，另一端开设有安装腔52，所述从动磁铁6和金属衬圈7均卡设于安装腔52内，所述从动磁铁6位于转体5和金属衬圈7之间，所述密封塞8塞设于安装腔52内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡贝伦思科技有限公司 一种超声波清洗晶圆用磁悬浮马达结构
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