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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：提供了静电卡盘和包括静电卡盘的薄膜沉积设备。根据实施方式的薄膜沉积设备包括：腔室；布置在腔室中并且将沉积材料供给到衬底的沉积源；包括沉积材料穿过其的图案孔的掩模组件；以及静电卡盘，该静电卡盘在衬底介于静电卡盘与掩模组件之间的情况下在与衬底的厚度方向相对应的第三方向上面对掩模组件，并且固定衬底。静电卡盘包括：支撑衬底的主体；布置在主体上的绝缘层；布置在绝缘层中并且在第三方向上与主体间隔开第一距离的第一电极；布置在绝缘层中并且在第三方向上与主体间隔开第二距离的第二电极；以及布置在绝缘层中并且在第三方向上与主体间隔开第三距离的导电层。第一电极和第二电极被施加不同的电压，并且第三距离大于第一距离。
主权项：1.一种薄膜沉积设备，包括：腔室；沉积源，所述沉积源布置在所述腔室中并且将沉积材料供给到衬底；掩模组件，所述掩模组件包括所述沉积材料穿过的图案孔；以及静电卡盘，所述静电卡盘在所述衬底介于所述静电卡盘与所述掩模组件之间的情况下在与所述衬底的厚度方向相对应的第三方向上面对所述掩模组件，并且固定所述衬底，其中，所述静电卡盘包括：主体，所述主体支撑所述衬底；绝缘层，所述绝缘层布置在所述主体上；第一电极，所述第一电极布置在所述绝缘层中并且在所述第三方向上与所述主体间隔开第一距离；第二电极，所述第二电极布置在所述绝缘层中并且在所述第三方向上与所述主体间隔开第二距离；以及导电层，所述导电层布置在所述绝缘层中并且在所述第三方向上与所述主体间隔开第三距离，所述第一电极和所述第二电极被施加不同的电压，并且所述第三距离大于所述第一距离。
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百度查询： 三星显示有限公司 静电卡盘和包括静电卡盘的薄膜沉积设备
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